E2424システムは、モデルE2401 2軸自動フィードバックピエゾコントローラー、MDE123 Elliot Gold™シリーズXYZフレキシャーステージ、3軸それぞれに25μmのピエゾと2mmのマニュアル調整が可能なピエゾアクチュエーター、新しいプロファイラモジュールから構成されています。
- プロファイラモード(DALi 4 プロファイラ参照)
- 150 Vアクチュエータ用3軸ピエゾコントローラ (E1100)
- ソフトウェアまたはマニュアルコントロールによる操作
- 優れた検索と最適化のルーチン
- 各アライメントのパラメータセットを保存
- スキャンパラメーターをフルコントロール
- USBインターフェース
- LabVIEW™ドライバを同梱
- クリアな液晶ディスプレイ
- S/W パワーメーター表示
- 超安定特許*設計のXYZフレキシャーステージ
- XYZ ピエゾアジャスター
- 右手仕様(左手仕様も注文可能です)
- 25 µmピエゾ調整移動量
- 10 nmの分解能
- 2mm粗動マニュアル
- 直交するアライメントグルーブ
- 4.5kgの耐荷重
性能仕様の詳細については、個々の製品シートを参照してください。
E2401 DAli 4 PROオートアライメントコントローラー(USBインターフェース、外部検出器入力付き)。
E1100 ピエゾドライバー
MDE123 Elliot Gold™シリーズ ピエゾアジャスター付きXYZフレキシャーステージ(25um)
ソフトウェアには、強度/位置プロット機能を持つDALi4用の新しいProfilerモジュールが含まれています。
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