- 10 nmの分解能
- 25 µm ピエゾ調整移動量
- 最小限の弧状変位
- 直交するアライメントグルーブ
- 超安定な特許取得†設計のXYZフレキシャーステージ
MDE123フレキシャーステージには、3軸それぞれに25μmのピエゾと2mmの手動調整が可能なピエゾアクチュエーターが搭載されています。このシステムは、シンプルなピエゾコントローラーまたはElliot Scientific Device Automated Alignment System (DAli 4)を介して制御することが可能です。
Elliot Gold™シリーズXYZフレキシャーステージは、現在Elliot Scientific社の子会社であるMartock Design社が発明し、特許を取得†した絶大な人気を誇るオリジナルステージを発展させたものである。高精度なデバイス操作に最適なフレキシャーステージです。
MDE123 XYZフレクシャーステージ軸図シングルモード、マルチモード、偏波保持ファイバー用のファイバー発射システムや導波管アライメントから、バイオサイエンスにおける微細構造の操作まで、さまざまな用途で使用できます。円弧状変位(縦方向の屈曲運動による垂直方向の変位)は、競合製品に比べ最大4倍優れています。
すべてのアクセサリーの光軸高さは天板から18mmで、光軸はステージ下部から94mmに位置します。
構成:右手仕様
アジャスタータイプ :手動制御式0~150Vピエゾ3個(モデルMDE218)、ピエゾ移動量25μm
分解能:10 nm、ピエゾ制御(25 μmレンジ以上)
円弧状変位:X軸:20μm(最大移動範囲時)
Y軸、Z軸14μm(最大可動範囲時)
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