3チャンネルコントローラE1100と、ピエゾアクチュエータを搭載したMDE123エリオットゴールド™シリーズXYZフレキシャーステージからなるシステムで、各3軸で10nmの分解能で25μmのピエゾ移動量を実現しています。
- 右手仕様(左手仕様も注文可)
- 10 nmの分解能
- 2mm粗動マニュアル
- 25 µmピエゾ調整移動量
- 直交するアライメントグルーブ
- 超安定な特許取得†設計のXYZフレキシャーステージ
E1100 Piezo Controller:
- USBインターフェース
- チャンネルは独立3チャンネル
- 出力電圧:0~150V
- 出力電流:50 mA/チャンネル
- 出力ノイズ< 50 µVRMS
- 各チャンネルにデジタル表示
- 内部/外部電圧制御
- 外部入力電圧制御 0~10V
- 出力安定性<16時間で0.01%未満
- 電源は必要です:
100-230 Vac 50/60 Hz
3チャンネルコントローラーE1100と、ピエゾアクチュエーターを搭載したMDE123 Elliot Gold™シリーズXYZフレキシャーステージからなるシステムで、3軸それぞれに10nmの分解能で25μmのピエゾ移動量を実現します。
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