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- アクチュエータ･位置決め装置
- XYZ軸ポジショニングステージ
- Elliot Scientific
XYZ軸ポジショニングステージ MDE625 圧電手動式3軸
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特徴
- 方向
- XYZ軸
- タイプ
- 手動式
- 軸の数
- 3軸
- その他の特徴
- 精密, コンパクト, 制御機付
- ストローク
2 mm
(0.079 in)- 積載量
4.5 kg
(9.92 lb)
詳細
3チャンネルコントローラE1100と、ピエゾアクチュエータを搭載したMDE125エリオットゴールド™シリーズXYZフレキシャーステージからなるシステムで、各3軸で50nmの分解能で100μmのピエゾ移動量を実現しています。
- 100μmピエゾ調整移動量
- 50nmの分解能
- 直交するアライメントグルーブ
E1100 ピエゾコントローラー：
- USBインターフェース
- チャンネルは独立3チャンネル
- 出力電圧：0～150V
- 出力電流：50 mA/チャンネル
- 出力ノイズ< 50 µVRMS
- 各チャンネルにデジタル表示
- 内部/外部電圧制御
- 外部入力電圧制御 0～10V
- 出力安定性<16時間で0.01%以下
- 電源の必要性
100-230VAC、50/60Hz
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