ガス用圧力調整弁 / 減圧弁 TESCOM™ 12

メンブレンステンレス製低圧

12シリーズは、小型の超高純度IGS/VCR®減圧レギュレータです。12シリーズでは、5 Raまたは10 Raマイクロインチ表面処理、連結型ダイヤフラム、内部にスプリングもネジも使用しない設計を特徴としています。提供する入口圧力は150 psig / 10.3 bar、出口圧力は250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 barで、流量は最大120 SLPMです。OEM工具、ガスボックス、低圧ガスキャビネットでの使用に理想的です。 仕様 材料 -ダイアフラム: Hastelloy® -シート: PCTFE -バルブステム: Hastelloy® -0残りの材質: 316L VARステンレス鋼 流量係数 -標準: Cv = 0.04 -高流量 Cv = 0.08 重量 -VCR®、IGS: 0.60 lb / 0.3 kg -A-Style: 1.08 lbs / 0.5 kg 追加情報 -カスタム修正または完全なシステムソリューションについては、最寄りの販売店にお問い合わせください。 機能 -最新のOEMガスシステムに最適の製品 -超高感度圧力制御により、MFC性能を強化 -幅広い用途で優れた性能を発揮 -2 SCFM～120 SLPMの流量 -マイクロコンポーネントで最高の圧力降下と繰り返し精度 -メタルダイヤフラムが本体をシールし、優れたリーク完全性を実現 -10 Raまたは5 Raマイクロインチの内部表面処理 -SEMI F19およびSEMIモジュール式インターフェース仕様に準拠