熱式質量流量計は、気体流体の質量を測定するために開発されました。標準的な流量計では、流量を適切に計測するために圧力と温度の補正が必要です。しかし、質量流量計は補正を必要とせず、流体の質量流量値を直接計算することができます。質量流量計は、直接適用が容易であること、可動部品がないこと、圧力損失が非常に小さいこと、測定範囲が広いこと、感度が高いこと、信頼性が高いことなどから好まれています。熱式質量流量計は、主に石油誘導体、化学工業、医療産業、熱プラント、環境保護分野で使用されています。
熱式質量流量計は温度拡散の原理で作動します。放熱技術により、多くの過酷な条件下でも優れた性能と高い信頼性を発揮します。流量検出は2個の白金RTD温度抵抗器によって行われます。この2つのセンサーのうち1つは速度センサーで、もう1つは自動温度補正機能付きの温度センサーです。
これら2つのRTDセンサーはフローチューブの中央に配置されています。速度検知センサーは周囲温度以上の温度で連続差によって加熱され、温度センサーは周囲温度に反応します。ガス流速が増加すると、センサーから周囲に伝わる熱量も増加する。このため、センサーが消費する電力も増加します。このように、ヒーターRTDセンサーは、パワーエレクトロニクスの原理に基づいてマスフロー情報を提供します。
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