液体フィルター Planarcap® LPX

カプセル深層泥用

Planarcap® LPX 使い捨てフィルタ 酸化物および銅 CMP 用シリカおよびアルミナ研磨剤用の 使い捨てフィルタシリカおよびアルミナスラリーソリューションで使用するように設計されています。銅、ILD、STI、タングステンCMPアプリケーションで最も一般的に使用されます 幅広い保持定格で利用可能 1μmから5 µmまでの 使用地点 CMPスラリーろ過用途のニーズを満たす Flaretek® フィッティング付き使い捨てフィルターとして利用可能 プリーツろ過媒体を備えたオールポリプロピレン構造の 素材： ミディアム：プリーツ深さポリプロピレン コア、ケージ、シェル：ポリプロピレン 接続： 入口/出口：3/8インチまたは1/4インチ Flaretek® 継手 ベント/ドレイン：1/4インチ Flaretek® 継手 * 最大動作条件： 最大動作圧力：0.27MPa（2.7バール、40PSI）、25° Cの 最大順方向/逆差圧 0.27MPa（2.7バール、40PSID）、 最大 20° Cで 動作温度: 40° C (104° F) 注意: * 部品番号 SKNP 010L2Fは1/8インチのMNPTベント/ドレインで入手可能