「 E2600ハウジングのためのSilverSet™の化学フィルター
高度の走査器の光学および保護に抵抗するため
入口フィルターの活性炭媒体は変化および材料の腐食を処理する光硬化性樹脂を引き起こすことができる酢酸へのPGMEAの転換を防ぐ、
Asymetricのフィルター構成は走査器レンズの汚染を引き起こすHDMSOへのTMSの転換を防ぐ、
高度のplymetric媒体と高活動化させたカーボンを含んでいる雑種フィルターは酸、基盤およびcondensable有機物を含む汚染物のフル レンジを取除く
典型的なクリーンルームの写真湾の状態の酸、基盤およびcondensable有機物のための99%の取り外しの効率の2年フィルター寿命
堅く、深いフレームのプリーツをつけられたフィルター設計は最高の利用および効率のための動的機器の表面積を最大限に活用する
港を見本抽出するinterstackが付いている連続フィルター レイアウトは保護の多数のレベルを提供し、フィルター パフォーマンス モニタおよび早い進歩の検出を可能にする
すべてのフィルター性能の要求がdata. \ /htmlの」支持と確認されるという保証を提供するEntegrisの分析的なサービスによって認可される化学ろ過性能
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