ガスフィルター Wafergard® Max 1000微粒子用メンブレン低圧
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特徴
- 物質
- ガス, 微粒子用
- タイプ
- メンブレン
- 用途
- 低圧
- 素材
- PTFE
- その他の特徴
- 疎水性, インライン
- 作動圧力
最大: 9.8 bar
(142.137 psi)最少: 2.5 bar
(36.259 psi)- ろ過精度
最大: 0.03 µm
最少: 0.01 µm
詳細
Wafergard® Max 1000インラインテフロン® ガスフィルター
超純度ガス用途に優れた粒子状ろ過-PTFE 膜
大きなろ過エリア-3 倍大きなろ過、低圧力損失、高流量
電流フィルタ生成と同じ長さの寸法で、ガスパネルまたは デリバリーシステム
拡張フィルタ寿命-前世代より3 倍長く、所有コスト（COO）の削減
：
成形テフロン® PFA 構造でサポートされる疎水性 PTFE 膜
ハウジング：316Lステンレス鋼
Oリング：カプセル化フッ素エラストマー（E-FKM）
表面
仕上げ内部：
≥ 25μin Ra
除去定格：ガス中の0.003μm 以上の粒子を99.9999999% 除去
下流清浄度：
< 0.03粒子/リットル（0.01μm
最大動作条件：
最大入口圧力：9.8バール（142 PSIG）
最大順方向差圧：3.9バール（57 PSID）
最大逆差圧：2.5バール（36PSID）
最大動作温度：120° C（248° F）
ヘリウムリーク定格：
1 x 10（-10）パーム/秒
保証：
1 年
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