フィルターガス清浄機 GateKeeper®

「 GateKeeper®の腐食性のガス清浄器 費用効果が大きいガスの浄化 一貫してultrapureガスを提供する HCl、Cl2、HBr、BCl3、SiCl4およびSiF4の使用のために設計されている。清浄器はN2の1 ppbに湿気を（一部每十億に）取除く。 バルク ガス清浄器の進歩に対する監視、液体の貯蔵タンクからの不純物のスパイク、プロセスのシリンダーchangeoutsおよび予想外の汚染物 プロセスを汚染するかもしれない炭化水素を解放しない 周囲温度の浄化の技術を–必要な力か熱使用しない purifiers \ /htmlを渡る低圧の低下」