フィルターガス清浄機 GateKeeper® Hydride

GateKeeper®の水素化合物のガス清浄器 費用効果が大きく、環境に優しいガスの浄化 NH3、AsH3、PH3、SiH 4、およびGeH4の使用のために設計されている。 清浄器はO2、二酸化炭素、H2Oおよび酸化副産物の補助的なppb (部分每十億に)レベルを取除く。 バルクガス清浄器の進歩に対する監視、液体の貯蔵タンクからの不純物のスパイク、プロセスのシリンダーchangeoutsおよび予想外の汚染物 プロセスを汚染するかもしれない炭化水素を解放しない 使用周囲温度の浄化の技術-必要な力か熱無し 清浄器を渡る低圧の低下