Wafergard® GTLのインラインガスはろ過する
80 SLPMまで流動度のための不活性ガスから粒子を取除きなさい
有効、低価格不活性ガスのろ過をポイントの使用しなさい
80 SLPMまでの流動度のため
材料:
膜: Teflon®の疎水性fluoropolymer PTFE
サポートかハウジング: Polysulfone
関係: Rc1⁄4 (PT1⁄4女性)、1⁄4」NPTの女性
膜区域: 25のcm2 (3.9 in2)
粒子の保持:
>すべての粒子のすばらしいより0.003のμmの直径(確認された最高で突き通る粒度)の99.9999999%取り外し
作動条件:
最高の操作圧力: 0.41 20°CのMPa (4.1、56.6 PSIDは禁止する)
最高前方差動圧力: 0.41 20°CのMPa (4.1、56.6 PSIDは禁止する)
最高の逆の差動圧力: 0.03 20°CのMPa (0.3棒、4.35 PSID)
最高使用可能温度: 50°C (122°F)
次元:
直径: 25のmm (0.98」)
長さ: 101のmm (4.0」)
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