ショートストロークアクチュエータ AQUARIUS ST

リニア電動ダイレクトドライブ

AQUARIUS STは、「テスト＆スキャン」タレットアプリケーション用に特別に設計された最新世代のショートストロークアクチュエータです。このシリーズは、力制御の再現性とスループットの向上を実現し、最終的に機械の総所有コストを削減します。 高精度と高ダイナミックが最優先される「テスト＆スキャン」タレットハンドラーアプリケーションにおいて、AQUARIUS STは、移動・整定時間の短縮と、低荷重レベルでのスムーズな力制御で優れた性能を発揮します。 完全対称のバランス設計を特徴とする機械的最適化により、安定した摩擦挙動を実現し、不要な移動・整定時間の変動を最小限に抑えます。 特徴 移動・沈降時間：2.8 mm、±10 µm以内、7 ms 主な特徴は以下の通り： 最適設計 機械的に最適化された設計により、長期的な摩擦挙動が保証され、移動や沈下における望ましくない変動を最小限に抑えます。 小型のフォームファクターにより、性能を犠牲にすることなく省スペース化を実現。 0.5Nまでの小さな公称力に対応し、力の精度を向上させ、力のオーバーシュートを減らし、加速度を増加させる機能を備え、優れた性能を発揮します。 多用途アプリケーション 後工程の半導体最終検査用途に特化して設計されており、トレイ／チューブ／トレイの取り外しや蒸着、テーブルへの移動／テーブルからの移動、テストボンディング、外観検査、レーザーマーキングなど、さまざまな工程における検査対象部品の取り扱いを改善します。