精密リニア軸 TBS

ボールねじサーボ モーター高性能

ETELのTBS直線軸は、比類のない精度と性能を提供し、様々な産業分野での高精度アプリケーションに理想的なソリューションです。 TBSは1自由度の高精度直動軸で、メカニカルベアリングベースの間接駆動システムを採用しています。この設計により、このカテゴリーでは卓越した精度と精度が得られます。高性能、低コギングサーボモータで制御され、デュアルエンコーダフィードバック制御スキームを特徴とするTBS軸は、優れた性能を保証します。この軸は、ハイデンハインコーポレートグループの高度なエンコーダ技術を活用し、全ストロークにわたってマクロとミクロの両方の動きに対して比類のない機械的特性を備えています。 熱源のサーマルデカップリング、高剛性、マイクロメトリックハードストップなどの設計上の特徴は、プロセスの安定性と安全性を高めます。TBSは、ウェハープロセスコントロール、オーバーレイ計測、クリティカルディメンション、薄膜計測、フォトニクスなどの半導体アプリケーションに特に適しています。また、高精度、高清浄度、安定性、高精度を必要とするその他の業界の要求にも応えます。 特徴 最大可搬質量45 kg 間接駆動 - 高精度ボールスクリュー デュアルエンコーダーフィードバック マイクロメトリックハードストップなどのオプションあり 主な特徴は以下の通りです： 双方向繰り返し精度±0.3μm、微動真直度±50nm、位置安定度±10nmを実現し、正確で安定したモーションコントロールを実現します。 可搬質量 最大可搬質量は45kgで、幅広いアプリケーションに対応する汎用性と信頼性を提供します。