組合せモジュール配置システム ZT

XY軸縦型ウェハー検査および計測学用

ZT ボックスは、2 つの自由度 (Z および Theta) を 1 つの単位内に組み合わせたモジュールです。 Z 方向に沿って、粗いものと細かいものの2つの動作が可能です。 このモジュールは、スタンドアロンモードで使用することも、XYプラットフォームの上にマウントすることもできます。 このモジュールは、薄膜測定、臨界寸法などのウエハプロセス制御アプリケーションに特に適しています 特性 -無限の回転 -ウェハチャックレベルでの真空供給を内蔵 -重力補償器を内蔵 -真空によるISO1クリーンルーム互換 吸引 -ウエハローディング/アンロード 用の12mmストロークとフォーカス調整用の4mmストロークの細かいZ 軸-粗いZなしのバージョンを行うことができます-移動とセトリング 主な特徴 -双方向再現性：Zの場合は ± 0.3μm、Tの場合は ± 2アーク秒 - 位置精度：Zの場合は ± 0.6 µm、Tの場合は ± 3アーク秒 -Zの場合は最大 0.1 m/s、Tの場合は最大 15.7 rad/s -加速度: Z の場合は最大 0.2 g、T の場合は 104.7 rad/s² -位置安定性: Z の場合は ± 5 nm、T の場合は ± 0.2 arcsec -負荷容量: 1 kg