アクティブ除振装置防振マウント QUIET active isolation system

長方形

QUIETアクティブ・アイソレーション・システムは、床振動を中和し、モーションシステムの反力を打ち消すことで、機械の完璧な運転を保証します。 半導体アプリケーションにおいて、振動は機械の精度とスループット性能に大きな影響を与えます。ETELのQUIETシリーズは、先進のモーションシステムと最先端のコントローラを、独自のアクティブ・アイソレーション・モジュールとシームレスに統合することで、フォワード・インテグレーション戦略を強化し、この点に革命をもたらします。この包括的なソリューションは、反力を相殺し、プロセス精度を維持するために、独自のデジタル制御アーキテクチャを活用し、移動と沈降の時間を最小限に抑えます。 標準的なAccurETコントローラと組み合わせたモジュール設計により、QUIETシリーズは比類のない適応性と信頼性を提供し、お客様の要件に合わせた最適なパフォーマンスをお約束します。 QUIETの形式 QUIETアイソレーション・システムには、2種類の形式があります：サンドイッチ型とPOD型があり、どちらも同じ技術に基づき、同じ種類のコンポーネントを統合しています。 QUIETサンドイッチはモノリシックな設計で、通常、設置面積の小さな機械や軽量なアプリケーションに適しています。 QUIET PODはPODベースのアイソレーション・システムで、最低4つの独立したアイソレーション・モジュールを必要とし、小型機から大型機まで対応可能です。 PODコンフィギュレーションは2種類のフォームファクターがあります：小型と大型標準600kgから4.5トンまで5種類の静荷重レンジがあります。 複数のモーター構成、さまざまな冷却およびコントローラー構成オプションにより、幅広い面内および面外荷重を提供します。