最も要求の厳しいアプリケーション向けに、ETELはAccurET VHPと呼ばれる独自の超高性能ポジションコントローラを開発しました。 この製品には、パフォーマンスを最大限に引き出す特定のハードウェアとソフトウェアの両方が装備されています。
AccurET VHPポジションコントローラは、他のすべてのAccurETコントローラと互換性があり、多軸モーションシステムの最も要求の厳しい軸専用にすることができます。 実際、これはAccurETモジュラーで使用されるのと同じ分散型アーキテクチャです。 これにより、機械制御ソフトウェアの重要な部分を軸レベルに配置することができます。 ETELのVHPシリーズは、高計算電力、高速かつリアルタイム通信バス、最先端の制御アルゴリズムなどのETELコントローラの利点に加えて、優れた信号対雑音比を提供しています。
AccurET VHPは次のような分野で使用されています。
-プロセス制御
-ウェーハ検査
-リソグラフィー
-ウェーハおよびダイレベルのパッケージング
-テストおよび制御装置
---