CHARON2は、最も人気のあるモーションシステムプラットフォームです。モジュール性とスケーラビリティを念頭に設計された、堅牢で信頼性の高いスタックドアーキテクチャにより、多くのターンキーモーションソリューションのためのコスト効率の高いエントリーポイントとして認識されています。
CHARON2ファミリーは、1つのX軸から完全な6自由度(DOF)モーションシステムまで、多数の異なる事前定義された構成で提供されます。当社の標準エレクトロニクスから選択することにより、CHARON2システムは、ターゲット仕様に最適な性能でスケーラブルになります。
3,000以上のステージが稼動しているCHARON2は、すべての半導体アプリケーションや、医療、製薬、材料科学などの他の市場の多くのユースケースに対応しています。
その±1 µmレベルの位置精度は、優れた双方向繰返し精度と高ダイナミクスと組み合わされ、モーター、エレクトロニクス、制御のための独自のIPにより、最適化されたフットプリントで達成されており、ETELの世界クラスのイノベーションと専門知識能力を実証しています。
特徴
標準ストローク:365 x 355 mmおよび475 x 410 mm
限られたスペースに適したコンパクトな設置面積とデザイン
最大6自由度
最大30kgの可搬重量
真空供給と顧客信号ケーブルをチャックレベルに内蔵
主な特徴は以下の通りです:
ナノメートルの位置安定性
長時間にわたって正確な位置決め精度を保証します。
ISO2クリーンルーム対応
厳しい清浄度が要求される管理された環境に適しています。
Z3TM+複合モジュールによるティップチルト補正
最適なポジショニングのための精密な調整が可能。
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