積層構造用配置システム CHARON2

3軸6 軸単軸

CHARON2は、最も人気のあるモーションシステムプラットフォームです。モジュール性とスケーラビリティを念頭に設計された、堅牢で信頼性の高いスタックドアーキテクチャにより、多くのターンキーモーションソリューションのためのコスト効率の高いエントリーポイントとして認識されています。 CHARON2ファミリーは、1つのX軸から完全な6自由度（DOF）モーションシステムまで、多数の異なる事前定義された構成で提供されます。当社の標準エレクトロニクスから選択することにより、CHARON2システムは、ターゲット仕様に最適な性能でスケーラブルになります。 3,000以上のステージが稼動しているCHARON2は、すべての半導体アプリケーションや、医療、製薬、材料科学などの他の市場の多くのユースケースに対応しています。 その±1 µmレベルの位置精度は、優れた双方向繰返し精度と高ダイナミクスと組み合わされ、モーター、エレクトロニクス、制御のための独自のIPにより、最適化されたフットプリントで達成されており、ETELの世界クラスのイノベーションと専門知識能力を実証しています。 特徴 標準ストローク：365 x 355 mmおよび475 x 410 mm 限られたスペースに適したコンパクトな設置面積とデザイン 最大6自由度 最大30kgの可搬重量 真空供給と顧客信号ケーブルをチャックレベルに内蔵 主な特徴は以下の通りです： ナノメートルの位置安定性 長時間にわたって正確な位置決め精度を保証します。 ISO2クリーンルーム対応 厳しい清浄度が要求される管理された環境に適しています。 Z3TM+複合モジュールによるティップチルト補正 最適なポジショニングのための精密な調整が可能。