積層構造用配置システム CHARON2
3軸6 軸単軸

積層構造用配置システム - CHARON2 - ETEL S.A. - 3軸 / 6 軸 / 単軸
積層構造用配置システム - CHARON2 - ETEL S.A. - 3軸 / 6 軸 / 単軸
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特徴

軸の数
3軸, 6 軸, 単軸, 4軸, 5軸, 7 軸, 2軸
構造
横型
応用
半導体産業用, クリーンルーム用, 真空
その他の特徴
コンパクト, 積層構造用
繰返し精度

0.3 µm

積載量

30 kg
(66.14 lb)

ストローク

205 mm, 650 mm
(8.07 in, 25.59 in)

速度

1 m/s
(3.28 ft/s)

詳細

CHARON2は、最も人気のあるモーションシステムプラットフォームです。モジュール性とスケーラビリティを念頭に設計された、堅牢で信頼性の高いスタックドアーキテクチャにより、多くのターンキーモーションソリューションのためのコスト効率の高いエントリーポイントとして認識されています。 CHARON2ファミリーは、1つのX軸から完全な6自由度(DOF)モーションシステムまで、多数の異なる事前定義された構成で提供されます。当社の標準エレクトロニクスから選択することにより、CHARON2システムは、ターゲット仕様に最適な性能でスケーラブルになります。 3,000以上のステージが稼動しているCHARON2は、すべての半導体アプリケーションや、医療、製薬、材料科学などの他の市場の多くのユースケースに対応しています。 その±1 µmレベルの位置精度は、優れた双方向繰返し精度と高ダイナミクスと組み合わされ、モーター、エレクトロニクス、制御のための独自のIPにより、最適化されたフットプリントで達成されており、ETELの世界クラスのイノベーションと専門知識能力を実証しています。 特徴 標準ストローク:365 x 355 mmおよび475 x 410 mm 限られたスペースに適したコンパクトな設置面積とデザイン 最大6自由度 最大30kgの可搬重量 真空供給と顧客信号ケーブルをチャックレベルに内蔵 主な特徴は以下の通りです: ナノメートルの位置安定性 長時間にわたって正確な位置決め精度を保証します。 ISO2クリーンルーム対応 厳しい清浄度が要求される管理された環境に適しています。 Z3TM+複合モジュールによるティップチルト補正 最適なポジショニングのための精密な調整が可能。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。