積層構造用配置システム VULCANO2

2-3軸ガントリーウェハー検査および計測学用

VULCANO2は、定評のあるアイアンコアモーター、メカニカルベアリング、ハイエンドの光学式エンコーダーを組み合わせたガントリー積層軸アーキテクチャで、高ダイナミクスで優れた幾何学的性能を発揮します。 当社の積層型CHARON2ファミリーと比較すると、VULCANO2は主に、より高いデューティサイクルとペイロード能力を備えています。そのコンパクトなフットプリントは、スループットとデューティサイクルを損なうことなく、コスト効率を最大化します。 標準でもカスタマイズでも、VULCANO2は長時間の稼働でも一貫した再現性と精度を保証します。このプラットフォームは、オーバーレイ計測や大型プレート上のフリップチッププロセスなど、精度が要求されるアプリケーションに最適です。 特徴 最大6自由度 真空供給と顧客信号ケーブルをチャックレベルに内蔵 主な特徴 ナノメートルの位置安定性 長時間にわたって正確な位置決め精度を保証します。 ISO 2クリーンルーム対応 厳しい清浄度が要求される管理された環境に適しています。 Z3TM+複合モジュールによるティップチルト補正 最適なポジショニングのための精密な調整が可能。 Z3TM+モジュールによる粗動Z機能 12mmの電動昇降機構を追加し、ウェーハのローディングとオフローディングを可能にします。 チャックレベルに真空供給装置を内蔵 適切なマテリアルハンドリングにより、効率的なオペレーションを実現します。 短時間での移動・沈降 素早い反応と安定化により生産性を向上