組合せモジュール配置システム Z3TM+

4軸XY軸縦型

Z3TMモジュールは、モーション・プラットフォームの範囲を拡大し、高度な半導体アプリケーション向けに4つの独立した自由度を提供する。 最先端の半導体アプリケーション向けに設計されたこのモジュールは、3つの回転軸（RX、RY、RZ）と1つの垂直軸（Z）の4つの独立した自由度を提供し、コンパクトな設計でウェハレベルの精度とダイナミクスという点で卓越した性能を実現します。高価なピエゾ式ソリューションと置き換えることで、ヒステリシスの問題を排除し、ナノメートルレベルの分解能、精度、再現性をサポートしながら、ダイナミクスを向上させます。 サンプルアライメントの組み込みサポートにより、ウェハレベルでの正確な平面度制御が可能になり、設計の手間を簡素化し、装置の複雑さを軽減し、信頼性を向上させることで、市場投入までの時間を短縮し、価格対性能を向上させます。 特徴 トータルストローク：ファインZ±2mm、ティップチルト±0.08°、シータ無限大 移動・沈降時間ファインZ：100 µm @ ±30 nm、60 ms / シータ：90° @ ±40 µdeg、360 ms 主な特徴は以下の通り： 無限のθ回転 多彩なポジショニングのための連続回転を提供。 チップ＆ティルト補正 ±0.08°の移動量を補正することで、レベリングとムーブ＆セトリングを改善します。 バキュームフィードスルー チャックレベルまでの真空チューブを可能にします。 ラジアル振れ 半径方向の振れを±3.5 µm以下に抑えます。