スチール回転軸 DXRH

ダイレクトドライブ中空半導体用

当社の最新の回転軸ソリューションであるDXRHは、1自由度（DOF）のメカニカルベアリングデザインで、卓越した精度を特徴としています。 DXRHの特徴は、エンコーダシステムとエアベアリングソリューションに匹敵する比類のない機械的特性です。DXRHは、ハイデンハインのクラス最高のエンコーダとベアリング技術、そしてトゥースレスダイレクトドライブモータに支えられており、トルクリップルのない正確な性能を保証します。 ハイデンハインの標準インターフェースとの完全な互換性により、再設計の必要なく、シームレスな統合と性能アップグレードが可能です。 特徴 双方向繰返し精度：±0.25 arcsec 位置精度：±3 arcsec（校正なし） 位置安定性：±2.5marsec 半径方向の振れ： ±1 µm 全軸方向誤差：±2 µm" " 主な特徴は以下の通り： 無限のθ回転 DXRHは、多彩な位置決めのための連続回転を提供します。 超高分解能エンコーダー 360,000ラインにより、正確なモーションコントロールのための正確なフィードバックを提供します。 可搬質量 最大12.5kgの可搬質量に対応し、様々なアプリケーションに対応します。 真空互換性 真空フィードスルーと真空パージを装備し、軸を清浄に保ちます。 クリーンルーム対応 ISOクラス1のクリーンルーム対応により、管理された環境で信頼性の高い性能を発揮します。 モジュラーオプション モジュール式外部ハードストップ、ウォブルキット、ウェーハバキューム、コネクターサポートなどのオプションがあり、カスタマイズと柔軟性を高めます。 トゥースレスモーターテクノロジー DXRHは、トゥースレスモータ技術により、コギングゼロで高速安定性を保証します。