アクティブ防振装置 QUIET POD

半導体産業用POD合板

QUIETアクティブ・アイソレーション・システムは、床振動を中和し、モーションシステムの反力を打ち消すことで、機械の完璧な運転を保証します。 半導体アプリケーションにおいて、振動は機械の精度とスループット性能に大きな影響を与えます。ETELのQUIETシリーズは、先進のモーションシステムと最先端のコントローラを、当社独自のアクティブ・アイソレーション・モジュールとシームレスに統合することで、フォワード・インテグレーション戦略を強化し、この点に革命をもたらします。この包括的なソリューションは、反力を相殺し、プロセス精度を維持するために、独自のデジタル制御アーキテクチャを活用し、移動と沈降の時間を最小限に抑えます。 標準的なAccurETコントローラと組み合わせたモジュール設計により、QUIETシリーズは比類のない適応性と信頼性を提供し、お客様の要件に合わせた最適なパフォーマンスをお約束します。