ヘリウム式漏れ検知器 UL1000 Fab

移動式におい嗅ぎ

UL1000 Fab ドライヘリウム 漏れ検出器 UL1000 Fab 10-12 気温 css までのリークの安定性と応答性の新しい次元。 INFICON UL1000 Fabモバイルヘリウム リークディテクタは、半導体アプリケーションの要件を満たすように特別に設計されています。 UL1000 Fabは、使いやすさ、リーク検出効率、および工場環境におけるシステムの優先事項において、あらゆる測定範囲にわたって極めて高速なリークレート応答を提供します。 UL1000 Fabは、高いヘリウムポンプ速度と高い入口圧力を兼ね備えた最適化された真空アーキテクチャにより、5×10-12 atm cc/s 以下のリークレート安定性を提供します。 独自のソフトウェアであるI-CAL（リークレートの高機能計算アルゴリズム）は、UL1000 Fabがすべてのリークレート範囲に迅速に応答するため、低リークレート範囲で長い応答時間を忘れることができます。 UL1000 Fabヘリウムリークディテクタは、TC1000テストチャンバーアクセサリを追加することで、ICパッケージ、水晶結晶、レーザダイオードなどの密閉部品を簡単かつ迅速で正確にテストできます（MIL-STD 883、方法1014）。 1510年を超える広い測定範囲が 短いポンプダウンと応答時間の モバイル全金属ハウジングを特長とし、妥協のない操縦性 I-CALで利便性を高め、すべての測定範囲で漏れに対する最速の応答時間を保証し、 自動積分時間アライメントによるゼロ機能 頑丈なスクロールポンプと高圧縮で高いヘリウムポンプ速度を提供する複数のインレットターボ分子ポンプを備えたインテリジェントな真空設計