キャパシタンスダイアフラム真空計 CDG025D

セラミックセンサー付きデジタル

CDG025D INFICON SKY CDG025Dキャパシタンスダイヤフラムゲージラインは、高精度な温度補償マノメーターで、過酷な製造ツール環境で安定した性能を発揮するように設計されています。 高度なデジタルエレクトロニクスは、ゲージ性能を向上させ、ワンプッシュボタンゼロ機能やセットポイント調整などの簡単なハンドリング機能を提供します。 耐腐食性セラミックセンサは、大気バーストを含む数百万回の圧力サイクルの長い寿命で、優れたゼロ安定性を提供します。 独自のセンサーシールド（特許出願中）により、ゲージをプロセス汚染から保護します。 堅牢な機械設計とデジタル・エレクトロニクスにより、EMCの互換性、長期的な安定性、温度補償が向上します。 CDG025Dは、電源投入後の高速安定性と大気圧暴露からの高速回復のための新しい基準を打ち立てます。 メリット フルスケール範囲 100 mTorr... 1000 Torr 電源オン後の 高速安定性大気圧からの高速回復 耐腐食セラミックセンサー 優れた長期的な信号安定性 温度補償 センサー汚染から保護 ワンプッシュボタンゼロ機能 広範囲電源 代表的なアプリケーション エッチング、CVD、PVD、ALD用半導体製造装置 データ保存および表示製造装置 産業用真空装置 一般高精度圧力測定