キャパシタンスダイアフラム真空計 CDG045D2

セラミックセンサー付きディスプレイなし

CDG045D2 INFICONエッジ容量ダイアフラムゲージは、過酷な製造環境向けに設計された高精度真空測定器です。 実績のある温度制御、耐腐食性、超純セラミックセンサは、最先端のゼロ安定性と組み合わせて、長年にわたり優れたスパン安定性を提供します。 Edgeには、INFICON特許取得済みの独自のセンサーシールドが付属しており、望ましくないプロセス副産物からゲージを保護します。 高度なエレクトロニクスは、あらゆるアプリケーション向けに幅広い設定可能なシグナル・コンディショニングと、オプションのEtherCATフィールドバス・インターフェースを提供します。 革新的な加熱コンセプトにより、接触面の冷却が可能になり、貴重な工具スペースを節約できます。 INFICONエッジは、その種の最小真空測定器です。 メリット コンパクト, 貴重なツールスペースを節約 簡単な統合, EtherCAT, フルスケールとフランジの多種多様, 2つのセットポイントで標準 簡単 ワンプッシュボタンまたはリモート信号ゼロコマンド, 迅速なサービスとメンテナンスのためのゼロオフセット調整可能な診断ポート 2年保証,高度な加熱コンセプトとゲージ保護 による長寿命過酷なプラズマアプリケーションでも優れた信号安定性と再現性により、長期 的な再校正は不要コンプライアンスと規格：CE、EN、UL、SEMI、RoHS標準アプリケーション CVD、Etch、PVDおよびその他の半導体生産プロセスです