キャパシタンスダイアフラム真空計 CDG100D

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CDG100D INFICON SKY CDG100Dマノメーターは、正確な総圧力測定と制御のための最良の選択です。 CDG100Dゲージは100℃で温度制御され、要求の厳しい半導体およびプラズマプロセスにおいて優れた性能を発揮します。 これらの製品は、100 mTorr ～ 1000 Torr のフルスケール範囲に対応しており、すべての一般的なフランジタイプとフィールドバスインターフェースを備え、0 ～ 10 V のリニア、ガスタイプに依存しない圧力信号を提供します。 INFICONキャパシタンスマノメータは、耐腐食性に優れた超純アルミナセラミックダイヤフラムを使用しています。 セラミックセンサーの利点は、より良い信号安定性、大気からの迅速な回復、短いウォームアップ時間、並外れた寿命です。 INFICON CDGは、要求の厳しい半導体、プラズマ、真空アプリケーション向けの高品質でコスト効率の高い圧力センサです。 利点 低CoO（所有コスト）、50％高速ウォームアップ、エネルギー効率の良い低消費電力 簡単な統合、フルスケールの多種多様、フランジとインターフェース、2つのセットポイント で簡単に1つのプッシュボタンまたはリモート信号ゼロコマンド、ゼロオフセット調整可能な 診断ポート 迅速なサービスとメンテナンス 2年間保証、高度な加熱コンセプトとゲージ保護 による長寿命、過酷なプラズマアプリケーションでも優れた信号安定性と再現性により、長期 的な再校正は不要コンプライアンスと規格：CE、EN、UL、SEMI、RoHS標準アプリケーションエッチング、CVD、PVD、その他の半導体製造プロセス 化学的および腐食性の高温プロセス ゲージ保護を必要とする一般薄膜および真空プロセス