差動真空センサ VSC150A

液体およびガス用調整可能高精度

VSC150A ABSスイッチ、パッシブ INFICON真空スイッチ VSC150は、0.5〜2000mbarの調整可能な電気スイッチング接点を備えた絶対圧力スイッチです。 機械設計により、± 0.1 mbarのスイッチング精度を損なうことなく、3000 mbarの短い熱過負荷が可能です。 INFICONは、圧力スイッチの顧客固有の調整を提供します。 利点 高いスイッチング精度（± 0.1 mbar） 安定した長期動作特性 堅牢で腐食保護設計 基準チャンバ内の接点（通常閉）を切り替え、プロセス媒体から保護スイッチング機能を 向上スイッチング使用時のスイッチング能力の向上増幅器 差圧測定用アダプタ 標準アプリケーション バルブ、ポンプ、電源を制御する圧力スイッチまたは差圧スイッチ ロードロックチャンバ プロセスチャンバ