アクティブ真空計 BAG402

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BAG402 中～超高真空ゲージ INFICONシングルベアドアルパートホットイオンゲージバッグ402は、5×10-10mbarから2.7×10-2mbar（3.75×10-10トール～5×10-2トール）までの幅広い測定範囲をカバーします。 INFICON BAG402は、コンパクトなアクティブゲージパッケージでベース圧力測定を行うための手頃な価格で再現可能なプロセスにお選びください。 ユニークなサポートされたデュアルフィラメントは、優れた精度、長期安定性、長寿命を提供します。 利点 測定範囲 5×10-10 mbar から 2.7×10-2 mbar (3.75×10-10 Torr から 5×10-2 Torr) までのプロセス圧力範囲での優れた再現性 5% 過圧検出により、フィラメントを早期のバーンアウトから保護します。 長寿命酸化イットリウムコーティングされたイリジウムフィラメント 自動エミッション電流選択により、制御の複雑さを軽減 オンボードキャリブレーションデータによるセンシングエレメント交換が容易高い再現性を保証 RoHSコンプライアンス 典型的なアプリケーション 半導体プロセスおよび転送チャンバにおける圧力測定 産業用コーティング 低真空から超高真空範囲での一般的な真空測定と制御