MPG40x
ATM 超高真空ゲージ
インフィコン逆マグネトロンピラニゲージ MPG400 および MPG401 は、5 x 10-9 mbar から大気まで (3.8 x 10-9 トールから大気まで) を測定します。 1つのコンパクトなユニットにテクノロジーを組み合わせて、対数アナログ出力プット信号を備えることで、設置、セットアップ、統合の複雑さが大幅に軽減されます。
メリット
コンビネーションゲージ-反転マグネトロン&ピラニは、
5 x 10-9 mbarから大気までの広い測定範囲
燃え尽きるフィラメントなし
優れた点火特性
洗浄が容易な
FPMまたは金属密閉フィードスルー
LEDインジケータ
対数アナログ出力信号の高電圧用
典型的な用途
高真空圧監視
蒸発およびスパッタリングシステム用ベース圧力
中・高真空範囲での真空測定と制御
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