EVTシリーズ
EVTシリーズは、市場で最も信頼性の高い高真空ポンプです。
Eurovacuum EVTシリーズターボ分子真空ポンプは錆びており、優れた究極の真空に到達し、操作が簡単です。 統合された制御または外部制御ユニット、オイルまたはグリース潤滑とセラミックベアリング、古典的なターボとして、またはドラッグステージで:彼らは、いくつかの異なる設計が利用可能です。 これらは、ISO-KまたはCFの入口フランジが付属するように選択することができます。
動作原理
EVTシリーズターボ分子ポンプは、複数のステージを採用しており、各ステージは高速回転回転ロータブレードと固定ステータブレードペアで構成されています。 このシステムは、ガスを取り出すのではなく、エネルギーをガスに投入するタービンのように動作します。 上段で捕捉されたガスは下段に押し込まれ、前真空(バッキングポンプ)圧力のレベルまで連続的に圧縮されます。 ガス分子が入口を通って入ると、多数の角度のついたブレードを有するロータが分子に当たる。 したがって、ブレードの機械的エネルギーは気体分子に伝達される。 この新たに獲得した運動量により、ガス分子はステータのガス移動孔に入る。 これは、彼らが再びロータ表面と衝突する次の段階にそれらを導き、このプロセスは、最終的に排気を通って外側に導く、継続されます。
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