食品産業用処理ライン EVG®120

ウェハー用

EVG® 120は、クリーンルームスペースが限られている場合に生産を開始するための、コンパクトでコスト効率の高いレジスト処理システムです。 新しいEVG120ユニバーサルおよび全自動レジスト処理ツールは、200mm/8インチまでの様々な基板形状およびサイズを処理することができます。 この新世代EVG120は、新しい超小型設計で、化学物質の外部保管用に新たに開発された化学キャビネットを備え、スループット能力を高め、大量顧客のニーズに合わせて最適化し、大量製造（HVM）での利用に備えます。 EVG120 は、単に他のツールでは見られない利点の精巧なセットをユーザーに提供し、非常に低い所有コストでアプリケーションのさまざまな分野で最高の品質基準を保証します。 最大200mmのウェハサイズの特長 最小フットプリントのための超小型設計 最大2個のコート/開発チャンバと10個のホット/チルプレート スピンおよびスプレーコーティング、開発、ベークおよびチル用の多機能モジュールの多機能組み合わせは、多くのアプリケーション分野で大きな機会を提供します化学物質の外部保管用化学キャビネット EVグループ独自のOmniSpray® 超音波噴霧技術は、極端な地形面のコンフォーマルコーティングに関して比類のないプロセス結果を提供します CoverSpinTM回転カバーは、低抵抗消費と最適化された抵抗コーティング均一性を実現します クリーニング、ソノケミカル処理、開発のためのメガソニック技術は、プロセス効率を向上させ、プロセス時間を数時間から数分に短縮します デュアルエンドエフェクター機能を備えた高度で現場で実証済みのロボットハンドリングにより、継続的な高スループットを実現