UV-NILフォトリソグラフィシステム UV/EVG®620 NT

柔軟性と信頼性で知られるEVG620 NTは、最小限のフットプリントで最先端のマスクアライメント技術を提供します。 オペレータに優しいソフトウェア、マスクや工具の変更にかかる時間を最小限に抑え、世界規模での効率的なサービスサポートにより、半自動量産まで、あらゆる研究開発環境に理想的なソリューションとなります。 このツールは、バックサイドアライメントのオプションである掃除機、ソフト、ハードおよび近接露出モードなど、さまざまな標準リソグラフィ処理をサポートします。 さらに、このシステムは、ボンドアライメントやナノインプリントリソグラフィなど、多目的構成のための追加機能を提供します。 さらに、EVG独自のSmartNIL技術は、半自動システム構成と完全自動システム構成の両方でサポートされています。 SmartNILは業界をリードするNILテクノロジーで、40nm*未満の極めて小さなフィーチャーのパターン化を可能にし、幅広い構造サイズと形状を可能にします。 SmartNILとマルチユース・ソフト・スタンプ・テクノロジーを組み合わせることで、優れたスループットを実現し、優れた所有コスト・メリットを実現するとともに、スケーラビリティとメンテナンスに優しい動作を維持できます。 EVGのSmartNILは、マイクロおよびナノスケール構造の大量製造のための低コストで大量の代替リソグラフィ技術であるナノインプリンティングという長期的な約束を償還します。 *分解能はプロセスとテンプレートによって異なる