食品産業用処理ライン EVG®150

ウェハー用

EVG® 150は、全自動レジスト処理システムで、高スループットの性能を提供し、直径300mmまでのウェハをサポートします。 EVG150は、完全にモジュール化されたプラットフォームとして設計されており、自動スプレー/スピン/開発プロセスと高スループット性能を実現します。 EVG150は、非常に均一なコートと改善された再現性を保証します。 高い地形を持つウェーハは、従来のスピンコーティングが限界に直面するEVGのOmniSpray技術によって均一にコーティングすることができます。 最大@@ 300 mmまでのウェハサイズ 最大6つのプロセスモジュール カスタマイズ可能な数-最大20個のベイク/チル/蒸気プライムスタック 最大4つのFOUPロードポートまたはカセットローディング 利用可能なモジュールには、スピンコート、スプレーコート、NanoCoat™、開発、ベイク/チル/蒸気/プライム EVグループ独自のモジュールがあります OmniSpray® 超音波噴霧技術は、極端なトポグラフィーのコンフォーマルコーティングに関して比類のないプロセス結果を提供します オプションのNanoSpray™ モジュールは、アスペクト比最大 1:10 および垂直側壁で300ミクロンの深部パターンのコンフォーマルコーティングを実現材料 250°Cまでのベークモジュール 洗浄、Sono-化学処理および開発のためのメガソニック技術により、プロセス効率が向上し、プロセス時間を数時間から数分に短縮します デュアルエンドエフェクタ機能を備えた洗練された現場で実証済みのロボットハンドリングにより、連続的な高を保証しますスループット