エクセロンの自動化システムは、複数の機械で構成される追加周辺機器を統合することで、非常に強力な生産セルを実現します。個々の機械と制御装置の構造はオープンなので、例えば電極やパレットチェンジャーシステムによる機械の自動化は非常に簡単です。また、リニアロボットシステムを介して複数の機械をリンクさせ、ジョブ管理、測定データ、CADシステムに接続することで、柔軟性と機械の効率性を高め、お客様の運用要件に合わせて拡張できることも大きなメリットとなります。
完全自動化システム
システム構成
全自動電極・パレット交換装置
基本構成で電極50枚、パレット5枚を処理可能
基本構想では、HSC300、HSC500、HSC600に適応可能
パレットチェンジャーは、市販の一般的なパレットに対応しています。
(Erowa、3R、Mecatool)
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