UVレーザー刻印機 LSU5EB電子素子用ウェーハ自動
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特徴
- 技術
- UVレーザー
- 用途
- 電子素子用, ウェーハ
- その他の特徴
- 自動, デジタル
- 出力
5 W
(0.01 hp)- X軸移動距離
150 mm
(5.91 in)- Y軸移動距離
150 mm
(5.91 in)
詳細
半導体業界向けに、ウェーハマニピュレーターと外部同軸ビジョン位置決め技術を採用し、2～6インチウェーハの全自動レーザーマーキングを実現。
製品の利点
- 高い自動化
ウェハー自動ピッキング、自動配置、自動フォーカシング専用ロボット
- 強い互換性
異なる光源で、異なる精度レベルに適応できる
- 高い耐障害性
インテリジェント、視覚的位置決め＋自動エッジ検出、高い耐障害性
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