絶対圧力センサ CD0320 series

ピエゾ抵抗型精密MEMS

チップス 最先端のチップ設計・加工設備（洗浄、ウェットエッチング、イオンエッチング、LPCVD、機械的化学研磨、封止、フォトエッチング、マグネトロンスパッタリング、ボンディングなど）と電子顕微鏡、AFM（原子間力顕微鏡）、エリプソメーター、プローブステーション、高精度電気性能試験装置などの高度なマイクロナノ検出装置を保有しています。また、MEMS、ASIC、マイクロ流体メディカルチップなどのチップ開発も行っています。 高温高圧チップ CD0320シリーズ 特徴 多圧力域での絶対圧測定の場合、最大圧力は0.1〜7MPaを超えないようにしてください。 クリーンな乾燥空気、乾燥ガスなどの非腐食性、非イオン性の作動流体に使用します。 環境への配慮 ＣＤ０３２０ 作動媒体 - ドライガス 動作温度 -55°O270°C 保存温度 -40°O125°C