熱式質量流量調節器 flox[on] J

ガス用窒素用空気用

大流量用マスフローコントローラflox[on] Jの計測は、温度・圧力補償され、低流量域と高流量域で非常に高い制御精度を誇ります。マスフローコントローラの調整制御には、最新設計の圧力補償比例バルブが使用されており、入出口の圧力変動の影響を受けません。flox[on]Jマスフローコントローラは高性能マイクロコントローラーを搭載しています。これにより、非常に迅速でダイナミックな調節が保証されます。 アプリケーション 特にflox[on] Jマスフローコントローラは、最大5000Nl/minの大流量ガス制御用に開発されました。