FOM alphaSCは、薄膜の研究および生産において、制御性、機能性、汎用性の究極の組み合わせと言えます。ハードウェア、ソフトウェア、そしてプレミアム機能のすべての要素は、実験エラーを排除し、フレキシブル基板とリジッド基板の両方での使い勝手を向上させるために調整されています。FOM alphaSCは、産業界や学術界に関連するラボスケールの材料やコーティングプロセスの広い範囲において、比類のない汎用性、精度、およびプロセスの再現性をユーザーに提供します。
均一な加熱を可能にするマイクロポーラス真空チャック
電動式高精度チャックモーション(10μmステップ)
電動高精度ガントリーモーションシステム(10µmステップ)
手動操作用外部クイックコントロールボックス
グローブボックスとのシームレスな統合
全自動成膜レシピ機能
統合型オーブンへのアップグレードが可能
ロールtoロール処理対応
温度制御シリンジポンプ
加熱スロットダイは、常温から80℃まで対応可能
乾燥オプション(IR、UV、熱風、窒素フラッシュエアナイフ)
A4サイズ以上の大きな真空チャックエリア
デザイン
FOM alphaSCは、意欲的な技術開発ロードマップを持つ世界トップクラスの研究所のためのゴールドスタンダードとなる装置です。全自動化とシームレスな制御ソフトウェアの統合により、システマティックな実験デザインのための比類ない再現性を実現することを主眼に設計されています。
フローレスオートメーションとラボ・トゥ・ファブアプローチ。
FOM alphaSC は、基礎研究、次世代コンセプトの開発、記録的な効率性の達成など、リジッド基板や軽量フレキシブル基板に関わらず、開発を加速させるための設備を備えています。
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