抵抗性プローブ Infinity

測定用幅広板

デバイスの特性評価やモデリングに最適なInfinityプローブは、アルミニウムパッド上の極めて低い接触抵抗と卓越したRF測定精度を兼ね備え、高い信頼性と再現性を備えた測定を実現します。独自の薄膜および同軸プローブ技術により、近隣のデバイスや伝送モードとの不要なカップリングを低減します。 - リソグラフィー薄膜構造 - 優れたクロストーク特性 - 酸化しにくいニッケル合金製チップ - 革新的なフォースデリバリーメカニズム - 40GHz、50GHz、67GHz、110GHz、145GHzの各コネクタを用意。 - GSG, SG, GS, GSGSG, GSSG, SGSの各構成に対応 - 50～250μmピッチ（その他のピッチも対応可能） - 大電流バージョン(2 A)を用意 - 優れた磁界閉じ込め性能により、近接デバイスや伝送モードへの不要なカップリングを低減 - 優れた測定精度と再現性 - 小さなスクラブがアルミパッドへのダメージを最小化 - 典型的な接触抵抗は、Alで<0.05Ω、Auで<0.02Ω - 25 x 35 µm（ベストケース）のパッド形状に縮小できるため、貴重なウェハスペースを節約し、パッド寄生を低減することができます。