温度測定システム Summit

ウェハー用キャリブレーション用高精度

複数の温度で無人測定が可能な高精度プローブシステム。EMIシールド、遮光、防湿の試験環境において、-60℃～300℃の温度範囲で、幅広いアプリケーションに対応する優れた測定性能を発揮します。 Summit™ シリーズの手動および半自動プローブシステムは、PureLine™ および AttoGuard® テクノロジーにより、200 mm および 150 mm ウェハーのテスト装置のフルレンジを利用できます。どのようなアプリケーションにも対応します。RF/マイクロ波、デバイス特性評価、ウェハレベル信頼性、e-テスト、モデリング、歩留まり向上など、どのような用途であっても、Summitシリーズのプラットフォームはオンウェハ測定において業界をリードしています。Summitシリーズのプローバは、測定性能、手動または半自動操作、チャックサイズ、温度範囲、顕微鏡オプションの選択が可能で、簡単に構成することができます。全てのプラットフォームは-60℃～300℃に対応しており、お客様の将来のニーズに合わせたアップグレードパスを確保します。強力なVelox™プローブステーションコントロールソフトウェアは、画面上での簡単なナビゲーション、ウェーハマッピング、自動化、アナライザや測定ソフトウェアとのシームレスな統合を特徴としています。モーター駆動のポジショナーやサーマルシステムを簡単に操作することができます。Veloxソフトウェアを搭載したSummitプローバは、様々なアプリケーションにおいて、高いテスト効率を実現します。