ウェハー用測定システム PM8

顕微鏡

PM8は、デバイスやウェハーの特性評価、故障解析（FA）、RF/mmWおよびサブTHzプロービング、光工学およびMEMSなど、最大200mmまでの精密分析プロービングアプリケーション向けに、高い安定性と人間工学的な柔軟性を備えたプローブプラットフォームを提供するよう設計されています。 プローブプラテン - プローブカードアダプターに対応 - プローブカードとポジショナーの同時使用可能 - 複数のポジショナーを片側ずつ装着できる広いスペースを確保 - 110 GHz ロードプルおよびその他の RF ノイズアプリケーション用 mm ウェーブプラテン - 300 ℃までのチャックに対応する冷却プラテン プラテン移動 - 45 mmの移動範囲により、最大限の柔軟性を実現 - システム高さは、ウェハからパッケージ基板アプリケーションまで容易に適応可能 - モータードライブオプションによる素早い動作