ウェハー用測定システム SiPh

顕微鏡

FormFactorのAutonomous Silicon Photonics Measurement Assistantは、ウェハおよびダイレベルのシリコンフォトニクスプロービングにおける業界標準を確立しています。この柔軟性の高いソリューションは、シングルファイバーからアレイまで、垂直カップリングからエッジカップリングまで、多数のテスト技術を提供します。高度なキャリブレーションを可能にする革新的なOptoVue、インテリジェントなマシンビジョンアルゴリズム、暗所・遮蔽・霜のない環境用の独自のSiPh TopHatにより、このシステムは、複数の温度でのハンズフリー自律キャリブレーションと再キャリブレーションを可能にします。これにより、より正確な測定までの時間を短縮し、テストにかかるコストを削減することができます。 光ファイバーやファイバーアレイをプローブとして使用し、ウェハーの表面と端の両方で光を結合させることは、フォームファクターがコンタクトインテリジェンス技術によって管理する多くの課題を生み出します。電気的テストとは異なり、光テストでは、ファイバーやファイバーアレイは、ウェハーの表面やエッジにあるグレーティングカプラーやファセットと呼ばれる対応する「パッド」に接触することがありません。そのため、ファイバーをカプラやファセットに対して相対的に移動させ、光パワーの伝達が最大となる位置を特定する必要があります。 ファイバーやアレイの先端をグレーティングやファセットに対して初期位置に設定し、その位置を最適化することは、FormFactorのエンジニアが開発した独自の自動化技術によって達成されます。高度な画像処理と特別に開発されたアルゴリズムにより、Z高さの設定、ファイバーとファセットのギャップ、およびプローブステーションへの位置決めソリューションの一連の自動校正を行うことができます。