ウェハー用測定システム TESLA300

半導体用顕微鏡

TESLA300 Advanced On-Wafer Power Semiconductor Probe Systemは、3 kV (triaxial) / 10 kV (coaxial) および200 A (standard) / 600 A (high current) までの高電圧・高電流の測定データを、作業者の安全を確保しながら正確に収集できる統合型ハイパワー・テスト・ソリューションです。 TESLA300は、ラボの自動化機能を備え、デバイスの特性評価、大量生産エンジニアリング、非常に難しいアプリケーションのためのハイパワー電気計測を可能にします。また、カスタマイズソリューション、ニッチ生産アプリケーション、新興市場にも理想的です。 TESLA300に搭載された特許取得済みのAttoGuard技術により、低リーク、低キャパシタンス測定が大幅に改善されます。FormFactorの特許取得済みTESLA FemtoGuard™サーマルチャック技術と組み合わせることで、TESLA300は完全にガードされシールドされたテスト環境を提供します。高出力TESLA FemtoGuardチャックにはMicroVac™技術も組み込まれており、低接触抵抗、薄型ウェハ処理、最大電力散逸を実現しています。