全自動測定システム MicroProf® AP

ウェハー用

FRT MicroProf® APは、フォトレジスト（PR）コーティングと構造化、エッチング後の貫通シリコンビア（TSV）やトレンチ、μバンプとCuピラー、さらに薄膜化、接着、積層プロセスの測定など、異なる3Dパッケージングのプロセスステップで幅広いアプリケーションに対応する全自動ウェーハ計測ツールです。モジュール式のマルチセンサーコンセプトを採用した柔軟なマイクロプロフAPは、先端パッケージングにおけるさまざまな測定タスクの実行に理想的な装置です。 FRT MicroProf APは、MOSFETやIGBTなどのパワー半導体の裏面処理（バックグラインド、メタライズ）、バルクSi、SOI、キャビティSOIなどの異なる基板、GaAs、InP、SiC、GaN、ZnOなどの化合物の制御、さらには透明材料の測定にも包括的に対応することが可能です。さらに、ハイブリッド接合やMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）にも使用でき、家電、自動車、通信、医療、工業の各市場で利用されています。