3D測定システム MicroProf® FE

ウェハー用

FRT MicroProf® FEは、FormFactorの標準的な全自動2D/3Dウェハ計測装置です。MicroProf 300とウェーハハンドリングシステムを一体化した装置フロントエンドモジュール（EFEM）です。SEMIに準拠した計測ソリューションとメンテナンスフリーのハードウェアコンポーネントにより、高スループットな検査を実現するMicroProf FEは、あらゆるフロントエンドHVMファブにおける計測ソリューションとなります。 FRT MicroProf FEは、標準構成に加えて、多数の追加機能を装備することが可能であり、後からのレトロフィットも可能です。