ウェハー用測定システム MicroProf® FS

FRT MicroProf® FSは、ウェーハファウンドリーにおける様々なアプリケーションに対応するため、標準およびカスタマイズされたソリューションを用いて構成可能な全自動ウェーハ計測ツールです。 今日のシリコンファウンドリーアプリケーション向けの計測ソリューションといえば、柔軟性と多用途性がキーワードとなります。MicroProf FSは、必要とされるすべての測定タスクを解決できる完全自動のマルチセンサーツールを作成するためのモジュラーアプローチを提供します。これがファウンドリ・スターと呼ばれる所以です。 その中核となる測定コンポーネントには、実績のあるFRT MicroProf 300マルチセンサー測定ツールが使用されており、異なる製品の測定を可能にし、ハイブリッド測定コンセプトにより、単一のセンサーまたは測定原理では不十分なサンプルの測定精度を向上させます。マイクロプロフFSの測定システムには、グラナイトベースセットアップ、3点式試料固定具、または真空チャックが装備されています。