濃度ゲージ FUD-1-12, FUD-1-1006

FUD-1モデル12は（半。/LCD）モデル12.Itがまた半導体/LCDの生産のための細胞のタイプ センサーを特色にするのと同じ利点に残る。細胞のタイプ センサーは非常に小さく、材料は半導体/LCDの生産から条件に適用するべきPFAである。 小さい細胞のタイプ トランスデューサー 汚染無し[材料:PFA] 定期刊行の取り替えは要求しなかった 利点 高精度、安定性 ほとんど料金のmeintenance 容易な取付け 容易な操作 Appiactions CMPのスラリーのヒドロペルオキシド H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl、等のための希薄制御。 HF、NH4OH、水酸化カリウム溶液、IPA、等の集中の監視。 HF、H2SO4、等の腐食率の監視。 主義 液体の超音波速度は集中およびtemperature.FUD-1手段速度およびtempearture、およびcalcuratesによって速度からの液体の集中およびデータROMで貯えられる校正曲線とのtempearture正確に定められる。