フォトレジスト用途では、精密なレジストのエッジビード除去(EBR)が要求されています。そこで当社は、純度、パッケージ、環境保護に関する業界標準を維持しながら、世界クラスのエッジビード除去を実現するEBRソリューションを開発しました。
• - 製品の純度は、最新の分析ツールを用いて継続検証しています。
• - 米国、欧州、アジアの各拠点の工場で製造しています。
• - パッケージのオプション:
o - 4リットルボトル4本
o - 200リットルのドラム缶(1wayまたはリターナブル)
o - 1000リットルのIBC
o - バルクデリバリー
製品ラインアップ
コア製品
• - RER 500/550
• - RER 600
• - RER 650/652
• - RER 800
ネガトーンイメージング(NTI)システムの現像液およびリンス液
• - FN-DP001
• - FN-RP002
リンス1(現像洗浄後)
• - プリウェット用途に対応した超高純度材料