半導体用樹脂 KrF高耐久性感光性高熱安定性
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特徴
- 応用
- 半導体用
- その他特徴
- 高耐久性, 感光性, 高熱安定性
詳細
GKRシリーズは、幅広い用途を対象とするポジ型KrF系フォトレジストです。
• - 高アスペクト比用途
• - 優れたプラズマエッチング耐性およびイオン注入耐性
• - 高い熱安定性
• - プロセスウィンドウが広い
• - 低欠陥レベル
• - 長期間安定性
• - 垂直プロファイル
• - 幅広い厚さに対応
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