ポジ型およびネガ型レジストシステム用の金属イオン含有(MIC)および金属イオンフリー(MIF)現像液を幅広く取り揃えています。
液浸およびインライントラック現像に適した金属イオンフリー(MIF)フォトレジスト現像液、金属イオン含有(MIC)現像液を幅広く取り揃えています。
• - 界面活性剤を添加した独自の多成分配合物
• - パッケージのオプション:
o - 4リットルボトル4本
o - 200リットルのドラム缶(1wayまたはリターナブル)
o - 1000リットルのIBC
o - バルクデリバリー
製品ラインアップ
• - OPD 262:界面活性剤無添加の現像液
• - OPD 4262:幅広く適用可能な界面活性剤入り現像液
• - OPD 4280:幅広く適用可能な界面活性剤入り現像液
その他のアルカリ溶液や界面活性剤も取り揃えています。
詳細は当社までお問い合わせください。
• - WNRD:ネガ型レジスト現像液